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本发明公开一种用于更换轴承的夹具以及更换轴承的方法，其中用于更换晶片旋转装置的轴承的夹具包含：一夹具基座，一夹具主体，夹具主体包含一圆形上表面和一圆形下表面，圆形下表面的直径大于圆形上表面的直径，其中夹具基座和夹具主体用于夹持一轴承，轴承包...
该专利属于联芯集成电路制造(厦门)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过联芯集成电路制造(厦门)有限公司授权不得商用。

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