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制作半导体器件的方法技术
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文档序号:4005679
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本发明公开了一种制作半导体器件的方法,其包括以下步骤:在半导体衬底中形成用于执行光电转换的光接收部分;形成绝缘膜,以覆盖半导体衬底的光接收侧;形成金属光屏蔽膜,以部分地覆盖绝缘膜的对应于光接收部分的部分;以及通过利用微波照射金属光屏蔽膜来对...
该专利属于索尼公司所有,仅供学习研究参考,未经过索尼公司授权不得商用。
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