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一种MEMS开关及其制备方法、电子设备，该MEMS开关包括：基底(1)、设置于基底(1)一侧的共面波导线结构、设置于共面波导线结构远离基底(1)一侧的隔离结构、设置于隔离结构远离基底一侧的膜桥(8)；共面波导线结构包括：依次间隔设置的第一导...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

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