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本技术实施例公开了一种微分干涉显微检测设备，包括反射式微分干涉成像系统和照明系统，所述反射式微分干涉成像系统包括相机、物镜模块、管镜模块、分束棱镜、半透半反镜和偏振片，所述偏振片位于所述照明系统的出光侧与所述半透半反镜之间，所述物镜模块和所...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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