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一种鳍型异质结型场效应晶体管制造技术
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文档序号:40053266
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本申请提供一种鳍型异质结型场效应晶体管,包括:第一导电类型衬底层;漏电极金属层;第一导电类型漂移层设置于第一导电类型衬底层背离漏电极金属层的一侧,第一导电类型漂移层远离第一导电类型衬底层的一侧平面设置有凸出部以形成鳍型结构;厚氧化物屏蔽层设...
该专利属于重庆大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆大学授权不得商用。
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