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本技术公开了一种硅片取片装置及硅片取片设备，其中，硅片取片装置包括输送机构和上料机构，输送机构包括输送单元和吸附单元，吸附单元设置在输送单元的取片端，吸附单元为长条形且沿输送单元的输送方向延伸，吸附单元的吸附面低于输送单元的输送面；上料机构...
该专利属于无锡奥特维科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡奥特维科技股份有限公司授权不得商用。

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