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一种掩模图形优化提取方法、装置及计算机设备制造方法及图纸
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下载一种掩模图形优化提取方法、装置及计算机设备的技术资料
文档序号:40045866
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本发明涉及集成电路制造领域,特别涉及一种掩模图形优化提取方法、装置及计算机设备。本发明提供的方法包括以下步骤:获取设计图形的轮廓边信息;基于轮廓边信息获取预打断位置,并基于预打断位置对轮廓边进行第一次打断以获得若干第一线段;对第一线段进行第...
该专利属于深圳晶源信息技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳晶源信息技术有限公司授权不得商用。
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