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本发明公开了一种厚层光刻胶的涂布烘烤方法，步骤包括涂布第一光刻胶，形成第一光刻胶层，第一光刻胶的光刻胶原液与稀释剂的体积比为第一稀释比例R<subgt;1</subgt;；烘烤第一光刻胶层，采用阶梯升温方式对第一光刻胶层进行烘烤...
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