下载铜框架传送装置的技术资料

文档序号:40037829

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铜框架传送装置,涉及半导体加工技术领域。包括:储料仓,两端分别设有水平进出料口,底部设有顶料口,内腔设有一对用于支撑框架的卡槽;所述储料仓通过设置其顶部的升降直线驱动机构实现上下往返运动;所述升降直线驱动机构通过水平直线驱动机构,实现不同工...
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