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本发明涉及一种用于晶圆套刻测量的显微成像系统，包括照明光路、测量光路、晶圆、微纳驱动台和垂直方向导轨，所述照明光路包括光源控制器、白光光源、光源准直组件、反射镜、滤光片系统和半透半反镜，所述测量光路包括标记图案、物镜系统、半透半反镜、成像透...
该专利属于无锡埃瑞微半导体设备有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡埃瑞微半导体设备有限责任公司授权不得商用。

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