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本发明提供一种多晶硅生产用石英隔热环全自动清洗设备及清洗工艺，涉及半导体生产用清洗设备技术领域，桁架，在两端分别形成有工件上料区、工件下料区；机械臂，滑动安装在桁架中，形成有至少一组做升降运动的夹爪；自动清洗及烘干线，装配于桁架中并处于机械...
该专利属于易升设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过易升设备（上海）有限公司授权不得商用。

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