下载一种晶圆的加工方法的技术资料

文档序号:40035796

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本申请公开了一种晶圆的加工方法,包括如下步骤:提供形成有器件层的晶圆;在器件层表面形成接触层,器件层上形成有正切割槽口;在接触层表面形成第一光刻胶层;在第一光刻胶层及接触层表面沉积形成加厚金属层;去除第一光刻胶层上的加厚金属层以及第一光刻胶...
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