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一种晶圆的加工方法技术
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下载一种晶圆的加工方法的技术资料
文档序号:40035796
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本申请公开了一种晶圆的加工方法,包括如下步骤:提供形成有器件层的晶圆;在器件层表面形成接触层,器件层上形成有正切割槽口;在接触层表面形成第一光刻胶层;在第一光刻胶层及接触层表面沉积形成加厚金属层;去除第一光刻胶层上的加厚金属层以及第一光刻胶...
该专利属于浙江芯科半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江芯科半导体有限公司授权不得商用。
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