下载陶瓷悬置式低功耗敏感器件的技术资料

文档序号:40031175

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本技术公开了一种陶瓷悬置式低功耗敏感器件。所述陶瓷悬置式低功耗敏感器件包括沿指定方向层叠设置的陶瓷基底、电热结构、绝缘导热层以及敏感结构;陶瓷基底至少由陶瓷粉料或陶瓷浆料形成,成型孔隙率为10‑60%,包括架体、悬臂梁以及悬置结构;电热结构...
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