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本发明实施例公开了一种薄膜沉积设备和方法，通过将位于喷淋板远离加热盘一侧的挡板的边部设置为朝靠近加热盘的方向延伸，且边部的内环壁和喷淋板的外环壁之间的间隙作为第一清洗气道，然后将反应气输送管路和清洗气输送管路分别与挡板的第一通道和第二通道连...
该专利属于拓荆科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技(上海)有限公司授权不得商用。

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