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本发明公开了一种声波滤波器及其制备方法，该声波滤波器包括：SOI衬底；SOI衬底的一侧设置有多个空腔；空腔包括至少一个第一空腔和至少一个第二空腔；位于SOI衬底一侧的堆叠结构；堆叠结构包括至少一个与第一空腔一一对应的第一堆叠结构，以及至少一...
该专利属于武汉敏声新技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉敏声新技术有限公司授权不得商用。

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