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一种半导体专用设备用多维机械手驱动装置，该装置包括与一根旋转轴直接相连的一个传动直驱电机和一个间接相连的旋转伺服电机，旋转轴为贯穿传动直驱电机和连接座的空心轴，连接座上端与传动直驱电机下端相连，连接座下端安装在旋转轴上，轴承座安装在底座上端...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十五研究所授权不得商用。

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