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本技术公开了一种适用于大尺寸硅片的浸泡装置，包括：浸泡缸体，为顶部开口、四周和底部封闭的壳体结构，其内部空间用于盛放硅片浸泡液；硅片支架，适于放入浸泡缸体内部，硅片支架上形成有多个并排布置的硅片卡槽，每个硅片卡槽适于竖立插入一个硅片，且多个...
该专利属于明士（北京）新材料开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过明士（北京）新材料开发有限公司授权不得商用。

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