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一种长晶炉系统，包括一外部加热模块、一炉体、一第一驱动装置、一第二驱动装置以及一控制装置。炉体可运动地设置于外部加热模块之内。第一驱动装置驱动炉体沿一轴线移动。第二驱动装置驱动炉体沿轴线转动。控制装置电性连接于第一驱动装置、第二驱动装置及外...
该专利属于环球晶圆股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过环球晶圆股份有限公司授权不得商用。

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