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本发明公开了一种研磨头，研磨头包括：柔性膜体，所述柔性膜体内具有柔性膜腔；压板，置于所述柔性膜腔内，所述压板包括边缘部，所述压板中开设有导气通道，所述导气通道包括相连通的进气端和出气端，所述进气端连通所述柔性膜腔，所述出气端通向所述柔性膜体...
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