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本发明属于半导体检测领域，涉及数据分析技术，用于解决现有的半导体检测设备温度补偿方法无法对温度补偿必要性以及精确性进行检测的问题，具体是一种半导体检测设备温度补偿方法，包括以下步骤：对半导体检测设备的检测环境进行模拟：并将检测图像与检测图像...
该专利属于广东兆恒智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东兆恒智能科技有限公司授权不得商用。

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