【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体检测领域，涉及数据分析技术，具体是一种半导体检测设备温度补偿方法。
技术介绍
1、机器视觉定位系统的目的是为了对目标组件进行定位，所以控制系统在于视觉系统通信的时候，主要传输的就是各目标组件的坐标信息，随着检测环境温度的变化，探针尖端和晶圆片的各芯片由于热膨胀系数的不同，会产生不同程度的热胀冷缩，因此需要在半导体检测过程中进行温度补偿分析。
2、现有的半导体检测设备温度补偿方法无法对温度补偿必要性以及精确性进行检测，从而导致检测设备的温度补偿机制不够完善，检测设备的检测结果精确性得不到保障。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种半导体检测设备温度补偿方法，用于解决现有的半导体检测设备温度补偿方法无法对温度补偿必要性以及精确性进行检测的问题；
2、本专利技术需要解决的技术问题为：如何提供一种可以对温度补偿必要性以及精确性进行检测的半导体检测设备温度补偿方法。
3、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
4、一种...
【技术保护点】
1.一种半导体检测设备温度补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种半导体检测设备温度补偿方法，其特征在于，在步骤一中，对半导体检测设备的检测环境进行模拟的具体过程包括：通过温度控制器对半导体检测设备的检测环境进行温度控制调节，以标准温度值为基准，对检测环境进行匀速升温控制，在温度控制调节过程中通过标定块对探针进行定位标记，以探针的定位标记为视图中心进行图像拍摄并将拍摄得到的图像标记为检测图像。
3.根据权利要求2所述的一种半导体检测设备温度补偿方法，其特征在于，在步骤二中，在数据处理模块接收到检测图像与检测图像拍摄时刻...
【技术特征摘要】
1.一种半导体检测设备温度补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种半导体检测设备温度补偿方法，其特征在于，在步骤一中，对半导体检测设备的检测环境进行模拟的具体过程包括：通过温度控制器对半导体检测设备的检测环境进行温度控制调节，以标准温度值为基准，对检测环境进行匀速升温控制，在温度控制调节过程中通过标定块对探针进行定位标记，以探针的定位标记为视图中心进行图像拍摄并将拍摄得到的图像标记为检测图像。
3.根据权利要求2所述的一种半导体检测设备温度补偿方法，其特征在于，在步骤二中，在数据处理模块接收到检测图像与检测图像拍摄时刻的检测环境温度值时进行补偿判定的具体过程包括：将检测图像的重合值与预设的重合阈值进行比较：若重合值大于重合阈值，则判定检测环境温度值不需要进行温度补偿，并在下一次接收到检测图像时再次进行重合值与重合阈值的比对，直至检测环境温度值需要进行温度补偿；若重合值小于等于重合阈值，则判定检测环境温度值需要进行温度补偿，并将对应检测环境温度值标记为补偿高值。
4.根据权利要求3所述的一种半导体检测设备温度补偿方法，其特征在于，在步骤二中，温度补偿范围与标记图像的获取过程包括：在检测环境模拟结束之后，将检测环境温度值位于补偿高值与温度最高值之间的检测图像标记为补偿图像，由补偿图像的重合值最大值与最小值构成重合范围，将重合范围分割为若干个重合区间，将重合区间的最大边界值与最小边界值的平均值标记为中间值，将重合值位于重合区间之内的补偿图像对应的检测环境温度值的最大值与最小值分别标记为重合区间的温高值与温低值，由温高值与温低值构成重合区间的温度补偿范围，将重合值与中间值相等的补偿图像标记为标记图像，将标记图像与温度补偿范围发送至补偿分析模块。
5.根据权利要求4所述的一种半导体检测设备温度补偿方法，其特征在于，在步骤三中，补偿向量的获取过程包括：将标记图像的四个角点分别与基准图像的四个角点进行连接得到四条角接线，对...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈顺灶，李鹏抟，黄柏霖，邵昌民，
申请(专利权)人：广东兆恒智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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