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本申请公开了体声波谐振器、体声波谐振器的制备方法以及滤波器，其中，体声波谐振器包括层叠设置的第一芯片和第二芯片；其中，第一芯片和第二芯片之间形成有空腔，第一芯片和第二芯片上设置凹槽作为对准标识，在第一芯片和第二芯片上的对准标识对准时，第一芯...
该专利属于武汉敏声新技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉敏声新技术有限公司授权不得商用。

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