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本技术公开了一种带DAF膜超薄晶圆激光全切装置，包括紫外激光器、扩束镜、第一分光镜、第二分光镜、二分之一波片、第三分光镜、第一45°反射镜、第一光闸、第二45°反射镜、第二光闸、棱镜、第一偏振片、第三光闸、第一光斑整形系统、第三45°反射镜...该专利属于郑州轨道交通信息技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过郑州轨道交通信息技术研究院授权不得商用。
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本技术公开了一种带DAF膜超薄晶圆激光全切装置，包括紫外激光器、扩束镜、第一分光镜、第二分光镜、二分之一波片、第三分光镜、第一45°反射镜、第一光闸、第二45°反射镜、第二光闸、棱镜、第一偏振片、第三光闸、第一光斑整形系统、第三45°反射镜...