温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供了一种单晶型SiC长晶装置,包括：炉体和加热装置；所述的炉体内设置有石墨坩埚，所述石墨坩埚的外表面包覆有隔热材料；所述的加热装置包括线圈，所述的线圈位置可沿着炉体的轴线方向移动，并可分层控制线圈的电流和/或电压；工作状态下，炉体内...
该专利属于海南启仓投资有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海南启仓投资有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。