下载一种多坩埚下降法生长晶体的装置及晶体的生长方法的技术资料

文档序号:40008204

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本发明公开一种多坩埚下降法生长晶体的装置及晶体的生长方法,所述装置包括:壳体;若干个炉体,间隔设置在所述壳体内;升降旋转机构,设置在所述若干个炉体下部;若干个坩埚,分别设置在所述若干个炉体内并设置在所述升降旋转机构上;加热机构,包括圆盘状感...
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