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液处理装置制造方法及图纸
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文档序号:40007554
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本发明涉及液处理装置。抑制由基板的旋转涂布处理时产生的异物导致的排气路径的堵塞。一种在基板上涂布涂布液的液处理装置,其具备:基板保持部,其保持基板并使之旋转;涂布液供给部,其向被保持的基板涂布涂布液;和杯,其包围被保持的基板,杯具有:外杯部...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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