下载一种版图通孔缺陷检测方法、装置及自动补强方法的技术资料

文档序号:40007534

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本发明公开了一种版图通孔缺陷检测方法、装置及自动补强方法,版图通孔缺陷检测方法包括:获取目标版图中第一布线网络和第二布线网络内包含的金属图形;分别获取第一布线网络和第二布线网络内每个金属图形内与上下不相邻金属层内的金属图形存在的交叠区域并进...
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