下载半导体基板和其制造方法以及制造装置、GaN系晶体、半导体器件、电子设备的技术资料

文档序号:40006568

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半导体基板具备:主基板;位于比所述主基板更上方且包含掩模部的掩模图案;和位于比掩模图案更上方且相邻的第1半导体部以及第2半导体部,第1半导体部具有:位于掩模部上的第1下方边缘;和比第1下方边缘更向第2半导体部侧伸出的第1伸出部。...
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