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本发明涉及石英治具技术领域，具体地说，涉及一种常压化学气相沉积用治具及其使用方法；一种常压化学气相沉积用治具，其包括至少一个棱边，设于治具上；治具通过棱边与硅片相接触；一种常压化学气相沉积用治具的使用方法，包括上述的治具；具体包括于膜面接触...
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