下载一种存储芯片的制备方法及存储芯片的技术资料

文档序号:40002669

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本发明公开了一种存储芯片的制备方法及存储芯片,应用于存储芯片技术领域,通过先在底电路层表面的阵列区以及逻辑区同时设置底部电极材料,刻蚀出底部电极,而存储单元与逻辑通孔均落在底部电极表面,通过该底部电极可以有效减少在逻辑区与阵列区的高度差,即...
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