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本公开提供一种外延片表面台阶检测方法及装置，方法包括：利用激光在外延片表面扫描，得到外延片表面抛光雾度信号；基于抛光雾度信号，获取与外延片表面呈周期性结构的台阶所对应的布拉格衍射坐标图；利用原子力显微镜对外延片表面局部区域进行测量，以获取局...
该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。

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