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基板处理装置包括：载台(30)，设置已配置多个元件(4a、4b、4c)的基板(2)；上部构件(21)，覆盖载台(30)的上方，与载台(30)之间形成作为加压空间的处理室(6)；片材保持部(40)，在载台(30)与上部构件(21)之间保持弹性...
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