下载一种异质结硅片搬运装置及搬运方法的技术资料

文档序号:39999400

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本发明公开了一种异质结硅片搬运装置及搬运方法,搬运装置包括:搬运模组、限位夹持模组和顶升模组;顶升模组设置在限位夹持模组底部,搬运模组的一端连接至异质结设备的定位段,另一端贯穿限位夹持模组,用于实现异质结硅片沿X轴方向搬运;限位夹持模组用于...
该专利属于湖南红太阳光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南红太阳光电科技有限公司授权不得商用。

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