一种异质结硅片搬运装置及搬运方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种异质结硅片搬运装置及搬运方法，搬运装置包括：搬运模组、限位夹持模组和顶升模组；顶升模组设置在限位夹持模组底部，搬运模组的一端连接至异质结设备的定位段，另一端贯穿限位夹持模组，用于实现异质结硅片沿X轴方向搬运；限位夹持模组用于实现异质结硅片沿Y轴方向搬运，顶升模组用于驱动限位夹持模组升降，以实现异质结硅片沿Z轴方向搬运；搬运模组和限位夹持模组上均设有多个限位件，以辅助异质结硅片进行定位；搬运模组上设有气浮组件，当搬运模组将异质结硅片搬运至预定位置时，气浮组件用于实现异质结硅片进行悬浮式定位。本发明专利技术具有结构紧凑、原理简单、定位精准且硅片损伤程度低等优点，提高了硅片搬运的安全性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于硅片搬运设备，具体涉及一种异质结硅片搬运装置及搬运方法。

技术介绍

1、在制备双面异质结太阳能电池的pecvd工艺段，为避免交叉污染，需要多台pecvd工艺设备，将异质结工艺n/p分不同设备镀膜，需要进行多次硅片上下载板的动作。在制备双面异质结太阳能电池的pecvd工艺段镀膜之前，首先要将晶体硅片排列到载具里，由于载具边缘与晶体硅片的空隙较小，所以需要对晶体硅片的位置进行精准纠偏之后，才可以将晶体硅片准确放置到载具内。但由于晶体硅片本身单薄易碎的特点，传统的纠偏定位机构在纠偏取片和定位的过程中，很容易导致晶体硅片碎裂，而且不能精准地定位，影响后续的镀膜效果，导致生产出来的电池片达不到使用要求，甚至无法使用，对生产造成很大的损失。

2、另一方面，由于异质结太阳能电池晶硅部分的作用是吸收光能，所以通常会在硅片表面制备绒面结构以增强光吸收能力。该绒面结构十分脆弱，极易因自动化设备传输过程中真空吸附及定位时的微小位移产生损伤。而异质结太阳能电池的薄膜部分包括了用于构建内电场的n或p层和用于补偿悬挂键的钝化层i层，所以薄膜部分厚度通常只有3本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种异质结硅片搬运装置，其特征在于，包括：搬运模组(1)、限位夹持模组(2)和顶升模组(3)；所述顶升模组(3)设置在限位夹持模组(2)底部，所述搬运模组(1)的一端连接至异质结设备的定位段，搬运模组(1)的另一端横穿限位夹持模组(2)，搬运模组(1)用于将异质结硅片(5)沿X轴方向搬运至限位夹持模组(2)上，所述限位夹持模组(2)用于实现异质结硅片(5)沿Y轴方向搬运，顶升模组(3)用于驱动限位夹持模组(2)升降，以实现异质结硅片(5)沿Z轴方向搬运；所述搬运模组(1)和限位夹持模组(2)上均设有多个限位件(4)，以辅助异质结硅片(5)进行定位；所述搬运模组(1)上设有气浮组件，当...

【技术特征摘要】

1.一种异质结硅片搬运装置，其特征在于，包括：搬运模组(1)、限位夹持模组(2)和顶升模组(3)；所述顶升模组(3)设置在限位夹持模组(2)底部，所述搬运模组(1)的一端连接至异质结设备的定位段，搬运模组(1)的另一端横穿限位夹持模组(2)，搬运模组(1)用于将异质结硅片(5)沿x轴方向搬运至限位夹持模组(2)上，所述限位夹持模组(2)用于实现异质结硅片(5)沿y轴方向搬运，顶升模组(3)用于驱动限位夹持模组(2)升降，以实现异质结硅片(5)沿z轴方向搬运；所述搬运模组(1)和限位夹持模组(2)上均设有多个限位件(4)，以辅助异质结硅片(5)进行定位；所述搬运模组(1)上设有气浮组件，当搬运模组(1)将异质结硅片(5)搬运至预定位置时，气浮组件用于实现异质结硅片(5)进行悬浮式定位。

2.根据权利要求1所述的异质结硅片搬运装置，其特征在于，所述搬运模组(1)包括：安装底板、直线模组(103)、第一安装板(106)、第一驱动件(107)、气浮组件、滑块(112)和第二驱动件(120)；所述直线模组(103)设置在安装底板上，所述滑块(112)滑动设置在直线模组(103)上，第二驱动件(120)设置在安装底板端部，且滑块(112)与第二驱动件(120)的输出端连接，所述第一安装板(106)设置在滑块(112)上，所述第一驱动件(107)和气浮组件均设置在第一安装板(106)上，且第一驱动件(107)的输出端与气浮组件连接；在第一驱动件(107)的驱动下，气浮组件进行升降以承载异质结硅片(5)，在第二驱动件(120)的驱动下，滑块(112)带动第一安装板(106)沿着直线模组(103)往复移动，以实现气浮组件将异质结硅片(5)沿x轴方向搬运至限位夹持模组(2)上。

3.根据权利要求2所述的异质结硅片搬运装置，其特征在于，所述气浮组件包括搬运板(110)和气浮板(111)，所述搬运板(110)与第一驱动件(107)的输出端连接，所述气浮板(111)设置在搬运板(110)上，气浮板(111)用于承载异质结硅片(5)，且气浮板(111)上设有多个限位件(4)。

4.根据权利要求3所述的异质结硅片搬运装置，其特征在于，所述气浮板(111)上设有斜气孔(1111)和直气孔(1112)，所述斜气孔(1111)位于气浮板(111)中部，以实现异质结硅片(5)中部进行斜吹气流导向；所述直气孔(1112)位于气浮板(111)边缘，以实现异质结硅片(5)边缘进行直吹气流保护。

5.根据权利要求3所述的异质结硅片搬运装置，其特征在于，所述滑块(112)上设有感应钣金件(105)，所述直线模组(103)的两端均设有光电开关(104)，分别用于标记直线模组(103)的原点和极限位点。

6.根据权利要求3所述的异质结硅片搬运装置，其特征在于，所述限位夹持模组(2)包括：第三安装底板(201)、同步传动部件、第一导轨(205)、夹持底座(208)和支撑板(209)；所述同步传动部件和第一导轨...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈冲，李祥辉，罗彩文，李智，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：