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一种微机电技术领域的压电双晶片式ＭＥＭＳ能量采集器及其制备方法，装置包括：若干压电双晶片悬臂梁，每个压电双晶片悬臂梁包括：硅固定基座、压电双晶片和质量块，其中：所述的压电双晶片包括：金属基片、两层压电薄膜和两层电极；方法包括：使用提拉法使金...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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