下载一种CT阴极管阴极表面涂层及其制备方法的技术资料

文档序号:39998340

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本发明公开了一种CT阴极管阴极表面涂层及其制备方法,以铱(Ir)、锇(Os)为金属靶,通过改进磁控溅射工艺,在钼基底上沉积得厚度10~20μm的金属涂层,所制备的金属涂层与基底结合力可超过100N,且涂层致密、均匀性好,可作为CT用X射线管...
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