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本发明提供一种激光照射装置，其能容易地改善激光的利用效率。激光照射装置将从激光光源射出的激光照射向被加工物，其包括：空间调制元件，其配置在与投影光学系统的光轴相交的位置，该空间调制元件通过将用于使激光偏转的多个偏转元件二维地排列起来而构成，...
该专利属于奥林巴斯株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过奥林巴斯株式会社授权不得商用。

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