【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及具有空间调制元件的激光照射装置。
技术介绍
以往，已知有通过向被加工物的期望区域照射激光来进行被加工物的加工的激光 加工装置。作为该激光加工装置，例如已知有这样的激光修复装置在液晶显示器等的制造 中，对玻璃基板上的布线图案、或用于曝光的光掩模中存在的不需要的残留物等的缺陷部 进行修正。使用于这样的激光加工装置中的激光照射装置利用可变的矩形开口等来限定激 光的照射区域的大小，但是近年来已知有使用了微镜阵列等空间调制元件的激光照射装置。在使用像微镜阵列那样的由多个有源光学构件规则地排列而成的有源光学元件 来进行激光照射的情况下，被微镜阵列反射后的激光分成多条衍射光。但是，由于显微镜的 后侧数值孔径一般很小，所以无法使分成了多条的衍射光全部入射。因此，若仅在基于微镜 的正反射方向上设定显微镜的光轴，则会产生使激光的利用效率降低的现象。因此，在专利文献1中，提出了这样的激光加工装置利用转动机构使激光光源和 空间调制元件中的至少一方相对于调制光照射光学系统的倾斜度可变，由此使空间调制元 件的调制光的衍射方向与调制光照射光学系统一致。专利文献1 日本特开20...
【技术保护点】
一种激光照射装置，该激光照射装置将从激光光源射出的激光照射向被加工物，其特征在于，所述激光照射装置包括：空间调制元件，其配置在与投影光学系统的光轴相交的位置，该空间调制元件通过将用于使所述激光偏转的多个偏转元件二维地排列起来而构成，其中，所述投影光学系统用于将所述激光导向所述被加工物；激光照射部，其对所述空间调制元件照射所述激光；第一转动机构，其使所述空间调制元件和所述激光照射部中的任意一方转动，并且转动中心为所述投影光学系统的光轴与所述空间调制元件的基准面相交的交点；以及第二转动机构，其使所述空间调制元件和所述激光照射部两者一体地转动，并且转动中心为所述投影光学系统的光轴...
【技术特征摘要】
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