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本申请实施例公开了一种晶圆升降装置、晶圆传片设备及晶圆检测设备，晶圆升降装置包括机架、升降驱动机构、升降导向机构与承载机构，其中，升降驱动机构设置于机架，升降导向机构设置于机架，承载机构包括载台与多个顶针，载台与升降驱动机构以及升降导向机构...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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