【技术实现步骤摘要】
本申请实施例涉及晶圆的，尤其涉及一种晶圆升降装置、晶圆传片设备及晶圆检测设备。
技术介绍
1、晶圆在检测或者传片过程中，通常需要用到晶圆升降装置。晶圆升降装置根据晶圆的类别实现晶圆的升降，以便于晶圆的检测或传片。
2、其中，晶圆升降装置包括机架、气缸与载台，气缸竖向朝上设置于机架，载台水平固定连接于气缸的活塞杆，载台用于承载晶圆。具体地，晶圆在检测或者传片过程中，气缸上下推动载台升降，从而带动晶圆升降，以便于晶圆的检测或传片。
3、然而，晶圆升降装置采用气缸驱动载台升降，由于气缸的活塞杆在驱动载台升降时可能导致载台微小晃动，从而可能导致晶圆在升降时出现跳片或偏移等问题。但随着晶圆的要求越来越高，上述的晶圆升降装置显然无法满足晶圆的传片精度要求或检测精度要求。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种晶圆升降装置，能够减小晶圆在升降时出现跳片或偏移等问题。
2、本技术还提出了一种具有上述晶圆升降装置的传片设备。
3、本本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆升降装置，包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆升降装置，其特征在于，所述升降驱动机构包括第一驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述载台升降；其中，所述第一驱动件为电缸。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆升降装置，其特征在于，所述升降驱动机构包括第二驱动件与传动结构，所述传动结构与所述第二驱动件以及所述载台相连接，所述传动结构用于将所述第二驱动件输出的旋转运动转换为直线运动，以驱动所述载台升降。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆升降装置，其特征在于，所述传动结构至少为齿轮齿条结构、曲柄连杆结构与丝杆升降结构其中之一。>
5.根据权利...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆升降装置，包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆升降装置，其特征在于，所述升降驱动机构包括第一驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述载台升降；其中，所述第一驱动件为电缸。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆升降装置，其特征在于，所述升降驱动机构包括第二驱动件与传动结构，所述传动结构与所述第二驱动件以及所述载台相连接，所述传动结构用于将所述第二驱动件输出的旋转运动转换为直线运动，以驱动所述载台升降。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆升降装置，其特征在于，所述传动结构至少为齿轮齿条结构、曲柄连杆结构与丝杆升降结构其中之一。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆升降装置，其特征在于，所述晶圆升降装置还包括控制器以及下位置传感器和/或上位置传感器，所述控制器用于接受所述下位置传感器检测到所述载台下移的位置信息，以控制所述升降驱动机构停止驱动所述载台；和/或，所述控制器用于接受所述上位置传感器检测到所述载台上移的位置信息，以控制所述升降驱动机构停止驱动所述载台。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆升降装置，其特征在于，所述升降驱动机构包括第一固定座、驱动组件、第一支座与装配座，其中，所述第一固定座设置于所述机架，所述装配座装配连接于所述第一固定座，所述驱动组件设置于所述第一固定座，并与所述载台相连接，所述驱动组件用于驱动载台升降；
7.根据权利要求1所述的一种晶圆升降装置，其特征在于，所述升降导向机构包括导向结构，所述导向结构包括导轨座与滑台，所述导轨座与所述机架相连接，所述滑台滑动设置于所述导轨座，所述载台与所述滑台相连接。
8.根据权利要求7所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：江和龄，马砚忠，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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