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本技术提供一种工艺环和工艺托盘的传输及位置校准系统，该系统包含机械手和至少两个激光位移传感器；机械手位于工艺托盘下方，对上下堆叠的工艺环和工艺托盘进行托举，并带动工艺环和工艺托盘进行移动；在传输过程中，激光位移传感器用于分别检测工艺环和工艺...
该专利属于乐孜芯创半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乐孜芯创半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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