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本发明涉及光刻技术领域，特别涉及一种版图的密度图像获取方法、系统及存储介质，本发明的版图的密度图像获取方法包括以下步骤：提供一初始版图，获取该初始版图中的预设待计算区域；以预设离散像素值基于高斯分布将预设待计算区域离散化，获取刻蚀区域及该刻...
该专利属于东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司授权不得商用。

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