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本申请实施例提供一种晶圆传送盒内气体的检测装置及检测方法，其中，该检测装置包括：光线发射器，用于发射测试光线，测试光线用于照射晶圆传送盒中的空气；信号检测器，用于接收测试光线穿过晶圆传送盒中的空气所形成的待测光线，并确定待测光线的光强信号以...
该专利属于湖北三维半导体集成创新中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北三维半导体集成创新中心有限责任公司授权不得商用。

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