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本发明提供一种减少开尔文电阻测试差异的方法，将第一测试机台与待测试器件的的第一至四测试端分别连接，第一测试端施加固定电流I，第二测试端用于测量第一电压值V1，第三测试端用于测量第二电压值V2，第四测试端施加电压值为0V，从而得到待测器件的第...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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