下载微小化的红外线热感测组件的技术资料

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一种微小化的红外线热感测组件,包括:一芯片、一滤光片以及一反射层;芯片具有一感测薄膜以及环绕于感测薄膜周围的一凸块,凸块的顶面形成一开口,凸块的内缘为一斜面;滤光片通过该开口设置于斜面上;反射层设置于感测薄膜的下方。藉此,提供尺寸小、成本低...
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