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用于量子电路的渐进热干燥室制造技术
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下载用于量子电路的渐进热干燥室的技术资料
文档序号:39983090
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本文描述了能够渐进地热干燥量子电路的技术。惰性气体由加热器元件渐进地加热以提供加热的惰性气体。加热的环境空气和加热的惰性气体在加热通道中组合,使得加热的环境空气和加热的惰性气体的组合流入探针隔室以渐进地热干燥其中的量子电路。惰性气体的流率被...
该专利属于微软技术许可有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过微软技术许可有限责任公司授权不得商用。
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