用于量子电路的渐进热干燥室制造技术

本文描述了能够渐进地热干燥量子电路的技术。惰性气体由加热器元件渐进地加热以提供加热的惰性气体。加热的环境空气和加热的惰性气体在加热通道中组合，使得加热的环境空气和加热的惰性气体的组合流入探针隔室以渐进地热干燥其中的量子电路。惰性气体的流率被控制为使该组合具有小于或等于阈值的相对湿度。可以将加热器元件的温度控制为大致等于在3.0℃的容差内渐进地增加的目标温度。可以基于检测到惰性气体来启动惰性气体的加热，并且可以自动地中止惰性气体的流动和加热。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

技术介绍

1、量子电路通常在接近绝对零度(约-273℃)的温度下进行测试。例如，量子电路可以被放置在探针(例如，低温量子测试台、气密测试探针或低温探针卡)中，并且为了测试的目的，探针可以被浸入液化的惰性气体(例如，液氮或液氦)中。探针浸入液化的惰性气体中会导致量子电路的温度在测试期间保持在接近绝对零度。

2、在测试后，包括量子电路的探针被从液化的惰性气体中取出。如果量子电路在从液化的惰性气体中移除后暴露于环境空气，则可能发生水冷凝和量子电路结冰，这可能导致量子电路的温度快速变化。突然的温度变化，例如从接近绝对零度到室温(～+25℃)，可能会对量子电路造成实质性的结构损伤。例如，突然的温度变化可能导致量子器件上的迹线收缩、断裂或破裂，并且量子器件上连接的可靠性可能受到负面影响。为了避免这种结构损伤，包括量子电路的探针通常被放置在热干燥室中，以提供对量子电路的温度的控制。

3、然而，传统的热干燥室可能相对低效、不准确和/或操作繁琐。例如，预期用于加热量子电路的热量和预期用于保持量子电路干燥的惰性气体可能会逃逸到热干燥室的其他部分，并且本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种渐进式热干燥室，包括：

2.根据权利要求1所述的渐进式热干燥室，其中所述温度控制器被配置为控制所述直列式加热器元件的所述温度，以在3.0℃的容差内跟踪渐进式地增加的目标温度。

3.根据权利要求1所述的渐进式热干燥室，其中所述温度控制器被配置为基于检测到流向所述探针隔室的所述惰性气体来标识所述热干燥过程的启动；

4.根据权利要求1所述的渐进式热干燥室，其中所述温度控制器被配置为基于所述惰性气体的供应的中止而自动地使所述直列式加热器元件中止对所述惰性气体的加热。

5.根据权利要求1所述的渐进式热干燥室，其中所述探针隔室能够容纳不同尺寸的...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种渐进式热干燥室，包括：

2.根据权利要求1所述的渐进式热干燥室，其中所述温度控制器被配置为控制所述直列式加热器元件的所述温度，以在3.0℃的容差内跟踪渐进式地增加的目标温度。

3.根据权利要求1所述的渐进式热干燥室，其中所述温度控制器被配置为基于检测到流向所述探针隔室的所述惰性气体来标识所述热干燥过程的启动；

4.根据权利要求1所述的渐进式热干燥室，其中所述温度控制器被配置为基于所述惰性气体的供应的中止而自动地使所述直列式加热器元件中止对所述惰性气体的加热。

5.根据权利要求1所述的渐进式热干燥室，其中所述探针隔室能够容纳不同尺寸的探针，每个探针的所述尺寸对应于所述探针被配置为支持的量子电路的尺寸。

6.一种渐进式地热干燥量子电路的...

【专利技术属性】
技术研发人员：Q·T·德兰，J·C·阿尔茨，J·S·希克曼，T·C·丁，
申请(专利权)人：微软技术许可有限责任公司，
类型：发明
国别省市：