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三荣技研股份有限公司
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曝光装置制造方法及图纸
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文档序号:3998032
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本发明提供一种能够维持高生产性且减少设备费的曝光装置。曝光装置包括:相互相邻且平行配置的一对曝光单元(1、2);该一对曝光单元(1、2)分别共用的光源机构(3)。曝光单元(1、2)分别具备:用于将带状基板(4)沿其长度方向间歇性地传送的传送...
该专利属于三荣技研股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三荣技研股份有限公司授权不得商用。
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