下载基于压力传感的硅片抓取方法、系统、设备及存储介质的技术资料

文档序号:39980072

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本发明属于自动化控制技术领域,具体公开了基于压力传感的硅片抓取方法、系统、设备及存储介质,通过堆叠硅片数量和硅片厚度计算目标硅片堆的高度,根据目标硅片堆的高度和吸料位置控制升降伺服装置将吸盘移至与目标硅片堆的顶层硅片贴合,然后通过吸盘上的压...
该专利属于中科时代(深圳)计算机系统有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中科时代(深圳)计算机系统有限公司授权不得商用。

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