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适用于高数值孔径系统的快速模态相位恢复方法及系统技术方案
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文档序号:39979195
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本发明公开一种适用于高数值孔径系统的快速模态相位恢复方法及系统,涉及光学测量技术领域。本发明将每个偏振方向的待测波前模式分解为数值正交的泽尼克径向多项式,多项式基于线性调频Z变换完成德拜衍射积分的灵活快速计算,得到探测面各个偏振方向上的矢量...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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